1.系统结构
电子散斑干涉测量系统由激光器、迈克尔逊干涉光路、CCD相机及图像采集卡、计算机组成。激光经干涉光路形成相干光,利用CCD采集被测物体变形或位移前后的散斑干涉场;将两次记录的图像信号进行图像相减处理,获得携带物体状态改变信息的散斑干涉条纹图;通过对条纹的处理和分析,得到被测物体的状态改变信息。
2.电子散斑干涉测量的信息提取过程
电子散斑干涉测量信息提取的核心算法是条纹中心线法,该算法主要探测条纹最强和最弱的位置,这些位置上的相位为pi的整数倍,而条纹图的全场相位含有待测信息,其主要流程为:
(1)条纹图预处理,消除散斑噪声,对比度增强等;
(2)检测得到全场条纹中心线,一般先将图像二值化,再对二值条纹图进行细化;
(3)!自动或人机交互地对条纹定级,确定2kpi包裹过程的k值;
(4)对条纹级数插值,得到全场的相位值;
(5)根据图像中的全场相位计算获得位移、形变量、缺陷大小及深度等信息。